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聚酰亞胺薄膜厚度要如何測試

發(fā)布時間：2022-6-28 15:12:04 瀏覽次數(shù)：

摘要：鑒于聚酰亞胺薄膜的厚度均勻性對應(yīng)用效果、生產(chǎn)成本的重大意義，監(jiān)測、控制聚酰亞胺薄膜的厚度均勻性已成為工業(yè)生產(chǎn)中重要的、不可或缺的環(huán)節(jié)。

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鑒于聚酰亞胺薄膜的厚度均勻性對應(yīng)用效果、生產(chǎn)成本的重大意義，監(jiān)測、控制聚酰亞胺薄膜的厚度均勻性已成為工業(yè)生產(chǎn)中重要的、不可或缺的環(huán)節(jié)。

在所有監(jiān)測方法中，“在線實時監(jiān)測+離線抽樣檢測”模式是目前企業(yè)中朂為典型和有效的厚度控制方案。在線實時監(jiān)測方便快速、及時的獲取批量薄膜的厚度數(shù)據(jù)，如若發(fā)現(xiàn)與規(guī)定的數(shù)值偏差波動較大，可及時停止生產(chǎn)線運轉(zhuǎn)，排查問題所在。

常見的在線測厚技術(shù)有射線技術(shù)、近紅外技術(shù)等。

射線測厚技術(shù)采用放射性同位素原理，根據(jù)使用的放射源不同，分為β射線、X射線和γ射線幾種形式，這種方法性能穩(wěn)定、精度高、受電磁干擾小，缺點在于射線源具有放射性，會對操作者人身造成傷害，另外放射源需要定期更換，費用昂貴。

近紅外測厚技術(shù)是利用不同物質(zhì)對近紅外領(lǐng)域（1.3～3.0μm）光線的吸收特性連續(xù)測量物質(zhì)厚度的，借助自身特點，可進(jìn)行單層薄膜厚度、多層薄膜總厚度及各層厚度測量，且近紅外光為電磁波，無放射性，操作安全。

在線厚度技術(shù)雖然利于在宏觀方面把握薄膜厚度的變化情況，但在測試精度的穩(wěn)定性和測試范圍的適應(yīng)性方面卻大大遜色于非在線測厚技術(shù)。非在線測試技術(shù)分為以機械測厚代表的接觸式測量法和非接觸式測量法，非接觸式測量法包括光學(xué)、渦輪、超聲波測厚等，渦輪測厚和超聲波測厚所使用的儀器均為小型便攜式設(shè)備，要求試樣表面平整光滑，否則易出現(xiàn)較大的數(shù)據(jù)偏差。

光學(xué)測厚技術(shù)理論上可達(dá)到極高的測試精度，但其原理特性對操作環(huán)境和維護方法的要求極高，因而使用范圍較窄。

機械測厚是朂傳統(tǒng)的測厚方法，測試數(shù)據(jù)穩(wěn)定，對試樣沒有選擇性，其更大特點在于接觸探頭測量前在試樣表面施加一定的壓力，這樣可以有效避免其他非接觸測試技術(shù)測量表面平整度較差或具有一定彈性的材料時而出現(xiàn)的數(shù)據(jù)偏差較大的問題。因此機械測厚更適合于聚酰亞胺薄膜厚度均勻性的離線測試。

由于機械式測厚儀器的精度取決于測試元件的精度，因而在選購儀器時首先要選擇配置高精度的位移傳感器的測試儀，這是保證測厚數(shù)據(jù)精準(zhǔn)的必要前提；其次，注意儀器內(nèi)部電機的質(zhì)量，因為其運行速度和噪音都會對測試產(chǎn)生一定影響；第三，觀察測量頭和砧鐵的平行度和光潔度，以減少測試誤差的產(chǎn)生。另外，儀器的自動化程度，如自動進(jìn)樣、自動顯示厚度更大值、朂小值、平均值和統(tǒng)計偏差等特征也是選購儀器的重要參考因素。

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